त्रयोदशीच्या दिवशी एकभक्त करून चतुर्दशीचे दिवशी नित्य क्रिया केल्यावर प्रातःकाली मंत्राने संकल्प करावा तो असा. शिवरात्रि व्रतं ह्येतत्करिष्येहं महाफलम्। निर्विघ्नमस्तुमेवात्र त्वत्प्रसादाज्जगत्पते ।। चतुर्दश्यां निराहारो भूत्वा शंभो परे हनि । भोक्ष्येहं भुक्ति मुक्त्यर्थन् शरणं मे भवेश्वर ।। नंतर सायंकाळी काळया तिलांनी स्नान करून भस्माचा त्रिपुंड्र व रुद्राक्ष धारण करावे. रात्रीचे आरंभी शिवालया मध्ये जाऊन पाय धुतल्यावर आचमन करावे. नंतर उत्तराभिमुख होऊन देशकालादिकांचा उच्चार केल्यावर दर प्रहराला पूजा करणे असेल तर शिवरात्रौ प्रथमयाम पूजां करिष्ये। अथवा एकदाच पूजा असेल तर श्री शिव प्रीत्यर्थं शिव रात्रौ श्री शिवपूजां करिष्ये। अस्य श्रीशिवपंचाक्षरमंत्रस्य वामदेव ऋषिः अनुष्टुप् छन्दः श्री सदाशिवो देवता न्यासे पूजने जपेच विनियोगः वामदेव ऋषये नमः शिरसि अनष्टुप् छन्दसे नमो मुखे श्री सदाशिव देवतायै नमो हृदि ॐ नं तत्पुरुषाय नमो हृदये ॐ मं अघोराय नमः पादयोः ॐ शिं सद्योजाताय नमः गुह्ये ॐ वां वामदेवाय नमः मूर्ध्नि ॐ यं ईशानाय नमः मुखे ॐ ॐ हृदयाय नमः ॐ नं शिरसे स्वाहा ॐ मं शिखायै वषट् ॐ शि कवचाय हुं ॐ वां नेत्रत्रयाय वौषट् ॐ मं अस्त्राय फट् " याप्रमाणे न्यास करून कलशाचे पूजन करावे नंतर "ॐ ध्यायेन्नित्यं महेशं रजतगिरिनिभं चारुचन्द्रावतंसं, रत्नाकल्पोज्ज्वलांगं परशुमृग वराभीतिहस्तं प्रसन्नम्। पद्मासीनं समन्तात् स्तुतममरगणैर्व्याघ्रकृत्तिं वसानं विश्वाद्यं विश्वबीजं निखिलभयहरं पंचवक्त्रं त्रिनेत्रम्।।"याप्रमाणे ध्यान केल्यावर प्राणप्रतिष्ठा करावी . नंतर लिंगाला स्पर्श करून ॐ भू: पुरुषम् श्री साम्बसदाशिवम् आवाहयामि। ॐ भुवः पुरुषम् श्री साम्बसदाशिवम् आवाहयामि। ॐ भूर्भुवः पुरुषम् श्री साम्बसदाशिवम् आवाहयामि। या मंत्रांनी आवाहन करावे. स्वामिन्सर्वजगन्नाथ यावत्पूजा वसानकम् l तावत्त्वं प्रीतिभावेन लिंगेस्मिन् सन्निधौ भव।। या मंत्राने पुष्पांजली द्यावी. स्थावर लिंग व पूर्वी संस्कार केलेले चर लिंग यांचे ठिकाणी आवाहना पासून ते प्राणप्रतिष्ठेपर्यंत विधी करू नये. सद्योजातं प्रपद्यामि सद्योजाताय वै नमो नमः। ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः आसनं समर्पयामि। या मंत्रांनी पूजा करावी. महत्वाचे स्त्रिया व ब्राह्मणेतर यांनी ॐ नमः शिवाय या पंचाक्षरी मंत्र ऐवजी श्रीशिवाय नमः या मंत्रांने पूजा करावी. ॐ भवे भवे नाति भवे भवस्व मां । ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः पाद्यं समर्पयामि। ॐ भवोद्भवाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः अर्घ्यं समर्पयामि। वामदेवायनमो ज्येष्ठाय नमः श्रेष्ठाय नमो रुद्राय नमः कालाय नमः। कलविकरणाय नमो बलाय नमो बलविकरणाय नमो बलप्रमथनाय नमः। सर्वभूतदमनाय नमो मनोन्मनाय नमः॥ ॐ वामदेवाय नमः। ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः आचमनीयं समर्पयामि। ॐ ज्येष्ठाय नमः। ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः स्नानं समर्पयामि। यानंतर मूल मंत्राने आणि आप्यायस्व इत्यादी मंत्रांनी पंचामृत स्नान झाल्यावर आपोहिष्ठा इत्यादी तीन ऋचांनी शुद्ध उदकाने प्रक्षालन करून एकादश अथवा एक आवृत्ती रुद्र म्हणून आणि नंतर पुरुषसूक्त म्हणून गंध, चंदन,कुंकुम,कापूर यांनी सुवासिक अशा उदकाने अभिषेक करावा. स्नानानंतर ओम नमः शिवाय या मंत्राने आचमन देऊन अक्षता युक्त उदकाने तर्पण करावे ते असे १ ॐ भवं देवं तर्पयामि २ ॐ शर्वं देवं तर्पयामि ३ ॐ ईशानं देवं तर्पयामि ४ ॐ पशुपतिन्देवं तर्पयामि ५ ॐ उग्रं देवं तर्पयामि ६ ॐ रुद्रं देवं तर्पयामि ७ ॐ भीमं देवं तर्पयामि ८ ॐ महान्तं देवं तर्पयामि १ ॐ भवस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि २ ॐ शर्वस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि ३ ॐ ईशानस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि ४ ॐ पशुपतेर्देवस्यपत्नीं तर्पयामि ५ ॐ उग्रस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि ६ ॐ रुद्रस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि ७ ॐ भीमस्य देवस्य पत्नीं तर्पयामि ८ ॐ महतो देवस्य पत्नीं तर्पयामि ॐ ज्येष्ठाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः वस्त्रं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करावे ॐ रुद्राय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः यज्ञोपवीतं समर्पयामि। नंतर मू ल मंत्राने आचमन करावे ॐ कालाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः चन्दनं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करावे ॐ कलविकरणाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः पुष्पाणि समर्पयामि। याप्रमाणे पुष्पे अर्पण केल्यावर सहस्त्र अथवा 108 अशा नावांनी अथवा मूलमंत्राने बिल्वपत्रे अर्पण करावी. ॐ बलाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः धूपं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करावे. ॐ बलप्रमथनाय नमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः दीपं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करावे. ॐ सर्वभूतदमनायनमः ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः नैवेद्यं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करून फळ अर्पण करावे. ॐ मनो न् मनाय नमः । ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः ताम्बूलं समर्पयामि। नंतर मूल मंत्राने आचमन करावे नंतर मूल मंत्राने व वैदिक मंत्रांनी नीरांजन लावावा. ईशान सर्वविद्यानामीश्वरः सर्वभूतानां ब्रह्माधिपतिर् ब्रह्मणोऽधिपतिर्।
ब्रह्मा शिवो मे अस्तु सदाशिवोम्॥
ॐ नमः शिवाय श्रीसाम्बसदाशिवाय नमः मन्त्रपुष्पं समर्पयामि।
नंतर
भवाय देवाय नमः।
शर्वाय देवाय नमः।
ईशानाय देवाय नमः।
पशुपतये देवाय नमः।
उग्राय देवाय नमः।
रुद्राय देवाय नमः।
भीमाय देवाय नमः।
महान्ताय देवाय नमः।
व
भवस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
शर्वस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
ईशानस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
पशुपतिस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
उग्रस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
रुद्रस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
भीमस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
महान्तस्य देवस्य पत्न्यै नमः।
इत्यादि ८ याप्रमाणे नमस्कार केल्यावर
शिवाय नमः
रुद्राय नमः
पशुपतये नमः
नीलकंठाय नमः
महेश्वराय नमः
हरिकेशाय नमः
विरुपाक्षाय नमः
पिनाकिने नमः
त्रिपुरांतकाय नमः
शंभवे नमः
शूलिने नमः
महादेवाय नमः
याप्रमाणे बारा नाममंत्रांनी बारा पुष्पांजली देऊन मूलमंत्र म्हणून प्रदक्षिणा व नमस्कार करावे. नंतर मूल मंत्राचा १०८ जप करून
अपराध सहस्राणि । क्षमस्व। अशी प्रार्थना करून
अनेन पूजनेन श्री सांब सदाशिव: प्रीयताम् असे म्हणून पूजा समाप्त करावी.
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